Systemaufbau

Das System besteht aus zwei Kernkomponenten:

• 3012 Filter Unit
  Wird direkt am Messobjekt positioniert, um Störeinflüsse durch lange Leitungen zu minimieren
• 3023 Control Unit
  Integriert ist ein fortschrittlicher Dynamic Signal Analyzer (ADQ214-DCLN, 14 Bit, Low Noise), der speziell für Flicker-Noise-Messungen im erweiterten Frequenzbereich von 0.1 Hz bis 10 MHz ausgelegt ist. Kurze Messzeiten und hohe Auflösung ermöglichen eine präzise Erfassung selbst feinster Rauschanteile. Die Verbindung zum Windows®-PC erfolgt direkt über die Control Unit.

Flexibilität bei der Bauteilcharakterisierung

Mit der im Lieferumfang enthaltenen Windows®-Steuersoftware können unterschiedlichste Bauteile gemessen werden – u. a.:

• FETs (CMOS, HVMOS, OTFT)
• Bipolartransistoren
• Dioden, Widerstände und andere Halbleiter
• Ganze analoge Schaltungen wie Verstärker

Die Software enthält gebrauchsfertige, flexibel anpassbare Messvorlagen. Bauteile können sowohl auf Wafern als auch im Gehäuse geprüft werden.

Automatisierte Genauigkeit und Erweiterbarkeit

Das System passt die Messeinstellungen automatisch an den gewählten DC-Arbeitspunkt des Prüflings an – für maximale Messgenauigkeit. Alternativ ist ein Modus mit höherem Durchsatz bei reduzierter Auflösung möglich.

Weitere Softwareoptionen ermöglichen die:

• Integration halbautomatischer Wafer-Prober
• Messung von DC- und C-V-Kennlinien

Damit ist das Flicker-Noise-Messgerät die ideale Lösung für Forschung, Entwicklung und Qualitätssicherung in der Halbleitertechnik.